Præcisionskrydsbord med energikæde til renrum

Vores præcisionskrydsbord LMSSA bruges til optisk inspektion af wafere i halvlederindustrien. En særlig egenskab er det renrumskompatible energiforsyningssystem, som sikrer en støjsvag drift med stort set ingen partikelforurening.

Det leverede LMSSA-præcisionskrydsbord er baseret på vores LMSSA-præcisionsakser, som vi tilbyder som et standardiseret system i vores produktportefølje. Den vigtigste komponent og individualiseringsønske var det særlige krav om partikelfrihed til brug i renrumskompatible applikationer. Der er derfor brugt et fladt kabelføringssystem af højtydende plast, som ikke viser noget synligt slid og er slidstærkt. Kammersystemerne, der kan åbnes, gør det nemt at udskifte eller tilføje fleksible strengelementer - med eller uden stik-, støttekæder eller slanger.

Vores præcisionssystemer - standardiserede systemer, der nemt kan tilpasses kundespecifikke applikationer.