Onze LMSSA precisiekruistafel wordt gebruikt voor de optische inspectie van wafers in de halfgeleiderindustrie. Een speciaal kenmerk is het cleanroom-compatibele energiesysteem, dat zorgt voor een geluidsarme werking met vrijwel geen deeltjesvervuiling.
De geleverde precisiekruistafel is gebaseerd op onze LMSSA precisieassen, die we als gestandaardiseerd systeem aanbieden in ons productassortiment. Het belangrijkste onderdeel en het verzoek om individualisering was de speciale eis om vrij te zijn van deeltjes voor gebruik in toepassingen die geschikt zijn voor cleanrooms. Daarom is een vlak kabelgeleidingssysteem van hoogwaardig kunststof gebruikt, dat geen zichtbare slijtage vertoont en slijtvast is. De open kamersystemen maken het eenvoudig om flexibele bundelelementen - met of zonder connectoren-, draagkettingen of slangen te vervangen of toe te voegen.
Onze precisiesystemen - gestandaardiseerde systemen die gemakkelijk kunnen worden aangepast aan klantspecifieke toepassingen.
Vereisten:
- Hoge precisie
- Cleanroom-compatibele kabeldrager
- Beperkte installatieruimte
- Snelle reactietijd van de leverancier
HIWIN-componenten:
Toepassingsgebieden: