Többszörös mosgások

A lineáris tengelyeket és tengelyrendszereket az ipar számos területén használják alkatrészek mozgatására vagy pozicionálására. A HIWIN fogazott szíjhajtással ellátott lineáris tengelyeket kínál a nagy dinamikájú és sebességű alkalmazásokhoz. A HIWIN moduláris rendszerének köszönhetően a szíjas tengelyek az igényektől függően rugalmasan kombinálhatók kettős tengelyekké és többtengelyes rendszerekké. A HIWIN golyóscsavaros meghajtással rendelkező lineáris tengelyek olyan alkalmazásokhoz állnak rendelkezésre, amelyek nagy előtolási erőt és pontosságot igényelnek. A lineáris motoros meghajtással rendelkező HIWIN lineáris tengelyek a dinamika, a pontosság és a szinkronizálás tekintetében a legmagasabb követelményeket is teljesítik.

Precíziós tengelyeinket és precíziós rendszereinket a maximális pontosság jellemzi. A ±0,05 µm-es ismétlési pontosságot nagy felbontású elmozdulásméréssel érjük el. Ez a nagy pontosság alkalmassá teszi rendszereinket a félvezetőiparban, valamint az orvostechnikában és a méréstechnikában történő alkalmazásokra. Szabványosított változatok állnak rendelkezésre, amelyeket modulárisan az Ön igényeihez igazítunk. Az előnyök: csökkentett fejlesztési idő, gyors árajánlatok és rövid szállítási határidők.

A Wafer Aligner HPA megbízhatóan képes pozicionálni átlátszó, áttetsző és nem fényáteresztő wafereket. Standard, Warpage vagy Edge Contact eljárás: Az új modelljeink néhány másodperc alatt pozicionálják a legkülönbözőbb wafereket 2 hüvelyktől 12 hüvelykig. A waferek központosítását és szögbeállítását három orsóhajtású HIWIN tengely végzi. Az Aligner berendezés modelljétől függően ezt egy X-Y egység vagy egy X-Z egység végzi. Kompakt kialakításuk révén a HPA sorozat berendezései kiválóan integrálhatók bonyolult berendezéskoncepciókba is. A HPA sorozathoz tartozó Wafer Aligner az ISO 3 tisztatérosztályban is használható, így optimálisan alkalmas a félvezetőgyártás alkalmazásaihoz.